提出了一种新的干涉强度调制技术对微纳米润滑薄膜进行测量,可保证较大膜厚测量范围及高的测量分辨率的同时,避免繁琐的干涉级次人工计数。完成了光强调制技术理论分析,并给出解析解,并分析了双色光源波长选择、初相位及半峰全宽对光强调制的影响。最后给出测量实例,对比验证了所提方法的正确性。
在机械润滑领域,油膜厚度的测量技术不断进步,但到今天为止,始终不能做到自动化、大量程膜厚动态测量---矛盾集中在单色光需要人为级次判别和彩色光的量程较小。针对该课题,本文采用折中二者的方法,基于双色光干涉,发现调制规律,提出新的自动化测试方法:双色光干涉强度调制技术。该光学干涉方法可以应用于润滑等相关领域微纳米薄膜的厚度测量,不需级次计数,消除标定误差,简洁高效,有利于薄膜厚度的动态测量自动化的实现。 完成了光强调制技术理论分析,并给出解析解,最后分析了双色光源波长选择、初相位及半峰全宽对光强调制的影响。结果表明强度调制技术的测量范围主要受双色光源波长的影响,初相位及半峰全宽对光强调制周期的影响较小。测量时选取光源红绿波长(比如红光593 nm,绿光532 nm)差距小,可测膜厚范围较大。为验证所提出测量方法的正确性,建立了测量系统,对静态下球-盘赫兹接触表面间隙进行了测量,与经典结果有很好的一致性。
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